光刻機(jī)是芯片智造的核心設(shè)備之一，也是當(dāng)下尤為復(fù)雜的精密儀器之一。正因?yàn)榇?，荷蘭光刻機(jī)智造商阿斯麥通研制的EUV光刻機(jī)才會(huì)“千金難求”。

很多人都對光刻機(jī)有所耳聞，但其實(shí)不同光刻機(jī)的用途并不一樣。像上文提及的EUV光刻機(jī)則是用于生產(chǎn)芯片的光刻機(jī)，此外還有封裝芯片的光刻機(jī)以及用于LED 制造領(lǐng)域的投影光刻機(jī)。

近幾年，我國本土企業(yè)在光刻機(jī)的研制方面正一步一個(gè)腳印地穩(wěn)步前進(jìn)，拿上海微電子裝備股份有限公司來說，近幾年，其先后推出了IC前道制造光刻機(jī)SSX600 系列光刻機(jī)、IC后道先進(jìn)封裝SSB500系列光刻機(jī)、LED 制造SSB300系列光刻機(jī)、TFT曝光SSB200 系列光刻機(jī)。

劃重點(diǎn)，上海微電子裝備股份有限公司是咱同茂的合作客戶，先后多次從我司購入高性能音圈電機(jī)模組用于產(chǎn)品中，那音圈電機(jī)模組在光刻機(jī)中具體作用是什么？音圈電機(jī)模組主要用于光刻機(jī)掩模臺系統(tǒng)，在該系統(tǒng)中音圈電機(jī)模組運(yùn)動(dòng)工況分為掃描運(yùn)動(dòng)和定位運(yùn)動(dòng)，其中掃描運(yùn)動(dòng)主要完成硅片曝光處理，該運(yùn)動(dòng)對定位精度以及速度穩(wěn)定性有非常高的要求，在穩(wěn)定基礎(chǔ)上追求時(shí)間的優(yōu)化。音圈電機(jī)模組 系統(tǒng)具有較低的阻尼比，是光刻機(jī)很重要的要件。

昆山同茂電子有限公司是一家集音圈電機(jī)模組 研發(fā)、生產(chǎn)和銷售為一體的高新技術(shù)企業(yè)，同茂自研自產(chǎn)自銷的音圈電機(jī)模組均采用歐美技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)和加工工藝，具備高性能、高質(zhì)量，歡迎多多關(guān)注。

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